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产品名称: GV400爱德华干泵维修简要描述: 东莞钥大真空设备有限公司提供Pfeiffer普发、Leybold莱宝、adixen阿尔卡特、Edwards爱德华、Varia瓦里安、ULVAC爱发科等进口品牌的真空泵 螺杆泵维修保养服务。 维修流程完善,长期备有原厂维修配件,为客户提供优质的服务!我们将按GV400爱德华干泵维修流程,为客户保证维修之设备的质量更新时间: 2023-09-15浏览次数: 2894
产品介绍
品牌 | 其他品牌 | 供货周期 | 一周 |
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应用领域 | 医疗卫生,化工,石油,能源,电子 |
GV400爱德华干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果,压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。东莞钥大真空设备有限公司提供Pfeiffer普发、Leybold莱宝、adixen阿尔卡特、Edwards爱德华、Varia瓦里安、ULVAC爱发科等进口品牌的真空泵 螺杆泵维修保养服务
GV400爱德华干泵维修流程
(1)擦净零件,疏通油孔 。
(2)把旋片及弹簧装入高级转子槽内后,把高级转子装入泵身内,装上高级泵盖、肖、螺钉、键、轴套等,用手旋转,应无滞阻和明显轻重。
(3)低级转子装配同上。
(4)装止回阀叶轮部件,应使止回阀平面对准进油咀孔二用于轻轻挡住叶轮并旋转转子,油孔应时开时闭,调整阀头平面开启高度为0. 8-1. 1mm。
(5)装上泵部的排气阀、挡油板等零件。
(6)把泵部件、键、轴套、电机装在支座上。
(7)装油箱。
(8)插入进气咀、气镇阀、装上压板,螺钉紧固。
注意:
(1)装配时,各摩擦面应涂上清洁的真空泵油。
(2)记住零件的原装配位置,可减少跑合时间。
(3)紧固体应无松动,紧固时应均匀施力。
(4)对磨损零件应检查,并酌情修理或调换。
(5)总装结束后,可以从泵进气口加入少量泵油,然后用手转动,转动时,手的感觉应是阻力均匀,无明显阻滞现象。
我们将按GV400爱德华干泵维修流程,为客户保证维修之设备的质量
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