产品分类

您的位置:首页 > 产品中心 > 真空泵维修 > 爱德华真空泵维修 > 半导体行业IH80爱德华干泵维修

产品中心
产品名称: 半导体行业IH80爱德华干泵维修
简要描述: 半导体行业IH80爱德华干泵维修.Edwards爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性能。
更新时间: 2020-04-27
浏览次数: 74

产品介绍

品牌其他品牌供货周期一周
应用领域医疗卫生,化工,石油,能源,电子

半导体行业IH80爱德华干泵维修.Edwards爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性能。

iH 系列真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠xing。通常情况下在使用螺杆泵时,应定期的对螺杆泵进行检查,发现故障要及时维修。般螺杆泵检修主要有小修和大修之分,螺杆泵小修的检查周期用在6个月左右,大修的检查周期应在24个月。根据螺杆泵运行状况及状态监测结果可适当调整检修周期。

半导体行业IH80爱德华干泵维修前准备在检修螺杆泵前应做好以下准备工作。

①掌握运行情况,备齐必要的图纸资料。

②备齐检修工具、量具、配件及材料。

③切断电源及设备与系统联系,内部介质冷却、吹扫、置换干净,符合安全检修条件。

螺杆泵的拆卸与检查

拆卸螺杆泵时应按以下步骤进行。

①检查电动机电源;电源应断开,并将电源开关上锁。检查出、人口阀门关闭情况,若没有关闭,应关紧。

②松开电动机与泵轴之间的联轴器的连接螺栓,卸下联轴器。

③拆卸检查同步齿轮。

对于单螺杆泵或三螺杆泵,拆卸泵后端盖,检查垫片、止推垫片、轴承、轴向定位塞。

对于双螺杆泵,拆卸泵后端盖,拆卸检查轴承及密封。

④拆卸前端盖,拆卸检查主、从动螺秆及密封。

⑤必要时更换端盖与泵体之间垫片。

半导体行业IH80爱德华干泵维修,超长保固期。

相关产品

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服
返回顶部