产品分类

您的位置:首页 > 产品中心 > 真空泵维修 > 爱德华真空泵维修 > IH600爱德华螺杆泵维修

产品中心
产品名称: IH600爱德华螺杆泵维修
简要描述: IH600爱德华螺杆泵维修,半导体真空泵维修保养。GV系列干泵维修,EH系列罗茨泵维修GVS系列螺杆泵维修
更新时间: 2020-08-17
浏览次数: 117

产品介绍

品牌其他品牌供货周期一周
应用领域医疗卫生,化工,石油,能源,电子

 

湖北武汉IH600爱德华螺杆泵维修,半导体真空泵维修保养。Edwards IH600系列干泵在极端环境(颗粒,腐蚀物)下有着高可靠性,例如PECVD,LPCVD中。IH600工作在大气压和极限压力之间,无需润滑,这样就确保了油不会被反抽到系统中。IH600系统有一个HCDP80干泵;HCMB-600干泵。IH600系统适用于无风冷电机的洁净环境中。IH600干泵系统还拥有运送清洁气体进入HCDP泵的气体系统,适用于制程物严重的工艺中。使用在较低要求的工艺下可共同改变气体排放模式改变N2消耗量。通过显示终端可手动控制真空系统。另外,可以通过接口模块或即时通讯模块或IH单设备监控器使用其他控制设备去操作IH干泵系统。 半导体晶圆厂的应用包括: LOADLOC 传送 测量 光刻 物理气相沉积工艺 物理气相沉积预清洁 快速热退火 去胶 蚀刻 高密度等离子化学气相沉积 高密度等离子体化学气相沉积快速热处理 大气化学气相沉积sacvd 钨化学气相沉积

等离子体增强化学气相沉积 低压化学气相淀积。

规格参数:

Edwards  IH600

项     目 参     数

Inlet Connection ISO 100

Outlet Connection NW40

Peak Speed 518 m3h1

8635 1min-1

305 CFM

Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

Power bbbbb at vacuum 3.1 kW

Rated Motor Power 5.1 kW

Weight 913 kg/lbs.

湖北武汉IH600爱德华螺杆泵维修GV系列干泵维修,EH系列罗茨泵维修GVS系列螺杆泵维修

相关产品

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服
返回顶部