氦检漏仪维修具体步骤
更新时间:2024-10-11 浏览次数:169
氦检漏仪维修是一个专业且细致的过程,需要对设备的结构和工作原理有深入的了解。
一、机械泵故障处理
1、不动作问题:检查电源电压、开关状态、绕组是否断路或接地,以及电机是否过热。
2、声音异常问题:检查油位、油质和油温,确保油雾过滤器正常工作。
二、分子泵故障处理
1、TMP显示“0”:检查前级压力、真空规管、机械泵油和系统泄漏情况,以及叶片或转子是否损坏。
2、加速指示灯不亮:更换保险丝或检查是否有短路现象。
3、故障灯亮:检查电路板设置开关位置和风扇运行状态。
三、质谱室故障处理
1、灯丝无法启动:在确认机械泵和分子泵正常工作后,若灯丝仍无法发射离子流,则需更换离子源。
2、本底信号异常:考虑放大器是否故障,通常用户无法解决,需交由专业维修处理。
四、检测开始时故障处理
检漏键无效:检查灯丝是否启动,以及I/O短接插头是否正确连接。
五、自动校准结束故障处理
自动校准失败:检查自动校准设置、温度传感器连接和灵敏度,必要时清洗质谱室。
六、检漏时故障处理
1、不转换至细检方式:检查检漏口压力和粗检指示灯状态。
2、灵敏度低:检查三极规所测压力和离子源污染情况。
3、氦本底太高:检查机械泵油、系统泄漏、真空管路污染和环境因素。
总的来说,氦检漏仪维修是一个涉及多个方面的复杂过程,需要专业知识和技术。通过正确的故障诊断和专业的维修服务,可以有效恢复设备的功能,延长使用寿命。用户在选择维修服务时,应考虑服务商的专业性和服务质量,以确保设备的稳定可靠运行。
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