普旭爪式泵都有哪些特点呢?你可知道?
更新时间:2020-06-24 浏览次数:1104
普旭爪式泵广泛应用于航空航天、石油、化工、炼化、电子、制药、冶金、核能源、油气回收、特殊气体制造等行业,适用于真空蒸馏、分子蒸馏、真空镀膜、抽提、重整、无泄漏气体传输、真空制备材料等工艺,在普通大气、富含水蒸气、酒精、汽油、粉尘等特殊应用环境都可工作。
普旭爪式泵是为半导体工业发展而研制的,它有如下特点:
1)泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生。
2)抽气元件为非接触式的可实现高速运转(3000r/min)。
3)与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。
4)在泵腔内气流垂直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。
5)该泵型式多样,功能可以扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有入口处防返流的阀门,出口处有截流阀,电气监控及报警装置。
6)齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑,上端盖内德轴承用PFPE油脂润滑。
7)第二、三、四级均有净化入口,以改善被抽介质顺利通过泵腔,无此需要的可以不用通净化气体,净化气体用三个流量计分别调节,相互都是独立的,以保证节约惰性气体,利用三个电磁阀可微调其流量。
8)入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断,出口处截流阀能将泵的出口封闭起来,将泵通以净化气体,这些阀可自动开关,真空系统有可靠得保护,杜绝了向真空室的返流。
9)电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的控制。
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